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新华财经上海5月8日电（记者 杨有宗）8日，上海凯世通半导体股份有限公司新研发制造基地在上海市浦东新区金桥通电启用，基地投用将扩容凯世通离子注入机现有设备的产能容量，提升从技术验证到客户导入的效率。

8日，上海凯世通半导体股份有限公司新研发制造基地启用。受访者供图

据介绍，凯世通新基地无尘车间与办公总面积超过4400平米，涵盖技术研发、CIP改进、零部件组装与验证、生产制造、工艺验证等功能，并可提供低能大束流、超低温低能大束流、重金属低能大束流、高能离子注入机等全系列产品的评估。

上海凯世通半导体股份有限公司董事长李勇军说：“新基地启用后，凯世通全面快速深度响应客户需求能力将大幅提升，我们将全力以赴，与客户同频共振、并肩战斗，推动客户降本增效、创新发展、产能提升。”

凯世通是一家集成电路离子注入机装备企业，正在成长为国产第一梯队核心设备厂商。2022年至今，凯世通取得多家12英寸集成电路制造厂主流客户的离子注入机采购订单，累计设备订单超8.5亿元。

根据万业企业发布的公告，目前凯世通研发的28纳米工艺节点的低能大束流、低能大束流重金属离子注入机、低能大束流超低温离子注入机、高能离子注入机均顺利实现商业化，在国产低能大束流和高能离子注入机系列产品的产业化进程中领跑。

编辑：谈瑞

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